Polovodičové CNC obrábané diely
Vyrábame na mierupolovodičové CNC obrábané dielyzo zákazníckych výkresov a CAD súborov, vrátanekomponenty vákuových komôr, platne a armatúry na rozvod plynu, diely na manipuláciu a upínanie plátkov, komponenty čerpadiel a ventilov, RF diely, chladiace platne, chladiče a komponenty procesných súprav. Naše CNC sústruženie, frézovanie, 5{2}}osové obrábanie, švajčiarske CNC a sústružnícke-frézy podporujú komponenty s vysokou toleranciou pre leptanie, nanášanie, litografiu, iónovú implantáciu, CMP a metrologické zariadenia.
Časti polovodičových zariadení žijú v inom svete ako bežné priemyselné časti: musia prežiťvákuum, korozívne procesné plyny, plazma, teplotné cykly a požiadavky na kontrolu-častíc. Výber materiálu je preto prvým rozhodnutím v každom projekte obrábania polovodičov. Vyrábame presné triedy -Nerez 316L VIM-VAR a 316L, hliník 6061-T6 a 7075-T6, titán 5. triedy, molybdén TZM, meď OFHC C10100, zliatiny niklu a technické plasty PEEK/PTFE- a použite povrchové úpravy kompatibilné s{1}}čistými priestormi tam, kde to aplikácia vyžaduje. Diely sú vyrábané podľa špecifikovaných rozmerov, tolerancií, materiálov a požiadaviek na konečnú úpravu, pričom materiálové certifikáty sú k dispozícii na vyžiadanie.
Od jednotlivých prototypov na vývoj nových nástrojov až po opakované výrobné série pre náhradné súpravy procesov, polovodičové súčiastky obrábame až po výkres - bez ohľadu na množstvo.
CNC obrábané diely pre polovodičové aplikácie
Zariadenia na leptanie a nanášanie
Telesá komôr · vložky komôr · platne na rozvod plynu · zostavy elektród · zaostrovacie krúžky · upínacie krúžky · montážne diely sprchovej hlavice
Materiály:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Titán 5. triedy
Vákuové systémy a dodávka plynu
Vákuové príruby (CF/KF/ISO) · komponenty posúvača · armatúry plynového potrubia · čelné tesnenia typu VCR- · rozdeľovacie bloky · montážne diely čerpadla
Materiály:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Manipulácia a preprava plátkov
Robotické ramená · koncové efektory · doštičkové svorky · okrajové úchyty · kazetové komponenty · časti elevátora a vidlice · kinematické držiaky
Materiály:6061-T6 · 7075-T6 · · C17200 berýliová meď · Titán 5. triedy
Iónové implantáty a diely Beamline
Komponenty Beamline · elektródy · otvory · tlmiace a extrakčné časti · vysokoteplotné štíty{0}
Materiály:TZM molybdén · Tungsten W · Ta-2,5W tantal
RF a plazmové napájacie komponenty
RF konektory · prechodové kryty · držiaky elektród · tieniace časti · kontaktné pružiny
Materiály:C10100 OFHC meď · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Tepelný manažment a CMP
Chladiace dosky · komponenty chladiča · chladiče · Časti hlavy CMP · poistné krúžky · komponenty dosky
Materiály:C10100 OFHC meď · 6061-T6 · 316L
Metrologické a inšpekčné zariadenia
Optické držiaky · komponenty pódia · základné dosky · upínacie prvky · kinematické montážne diely
Materiály:6061-T6 · 7075-T6 · Titán 5. triedy
Zariadenia na mokré spracovanie a čistenie
Komponenty nádrže a kúpeľa · striekacie ramená · držiaky trysiek · časti valčekov a štetcov · armatúry odolné voči chemikáliám-
Materiály:316L · Hastelloy C-276 · Titán 2. triedy
Vyrábame polovodičové CNC obrábané diely
Komponenty vákuovej komory
Telesá komôr, veká, vložky a montážne krúžky s kontrolovanou rovinnosťou, tesniacimi plochami a nízkymi požiadavkami na odplyňovanie.
Materiály:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Vákuové príruby a armatúry
CF (ConFlat), KF a ISO príruby, vsuvky, adaptéry a armatúry plynového potrubia pre UHV servis.
Materiály:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Dosky a dýzy na rozvod plynu
Presne{0}}vyvŕtané distribučné dosky, trysky vstrekovačov a montážny materiál sprchovej hlavice.
Materiály:6061-T6 · Titán triedy 5 · 316L
Oblátkové svorky, krúžky a rukoväte
Zaostrovacie krúžky, upínacie krúžky, okrajové úchytky a vodiace lišty plátkov s tesnou rovinnosťou a rozmerovou kontrolou.
Materiály:6061-T6 · C17200 · Titán 5. triedy
Robotické ramená a koncové efektory
Prenosové ramená, vidlice a koncové efektory s vyváženou hmotnosťou, tuhosťou a kontrolou častíc.
Materiály: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Komponenty čerpadiel a ventilov
Kryty, rotory, lopatky, taniere, sedlá a driekové časti pre suché čerpadlá, uzatváracie ventily a hardvér na{0}}riadenie prietoku.
Materiály:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Procesná súprava a spotrebné diely
Vymeniteľné diely súpravy určené na opakované objednávky s konzistentnými toleranciami a čistotou.
Materiály:6061-T6 · Titán 5. triedy · 316L VIM-VAR
Chladiace dosky a chladiče
Vodou-chladené platne, chladiče a časti chladiča s kritickými-rovnosťami.
Materiály:C10100 OFHC meď · 6061-T6 · 316L
RF a kontaktné komponenty
RF kryty, časti konektorov, kontaktné pružiny a komponenty tienenia EMI.
Materiály: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Máte vlastnú polovodičovú časť? Pošlite svoj CAD súbor
CNC obrábacie procesy pre polovodičové diely
CNC sústruženie
Najlepšie pre:Armatúry · vsuvky · drieky ventilov · rotory čerpadiel · trysky
Ideálne pre valcové komponenty s tesnou sústrednosťou.
CNC frézovanie
Najlepšie pre:Telesá komôr · základové dosky · rozdeľovače · konzoly
Vhodné pre ploché, prizmatické a multi{0}}komponenty.
5-osové CNC obrábanie
Najlepšie pre:Koncové efektory · komplexné kryty · RF komponenty
Obrába zložité geometrie a zložené uhly v jednom nastavení.
CNC sústruženie-Frézovanie
Najlepšie pre:Armatúry plynového potrubia · spojovacie diely s frézovanými prvkami
Kombinuje sústruženie a frézovanie pre zložité rotačné diely.
Švajčiarske CNC obrábanie
Najlepšie pre:Malé armatúry · komponenty snímačov · presné kolíky
Navrhnuté pre malé, štíhle a{0}}veľkoobjemové presné komponenty.
CNC brúsenie a honovanie
Najlepšie pre:Tesniace plochy · sedlá ložísk · presné otvory
Používa sa na kritické priemery, lícovanie a zrkadlové povrchy (dosiahnuteľné Ra 0,1–0,4 μm).
Polovodičové CNC obrábacie materiály
V prípade polovodičových súčiastok závisí výber materiálu odvákuová kompatibilita, chémia procesov, odolnosť plazmy, teplota, magnetizmus, tvorba častíc a tepelný manažment. Obrábame celý rad kovových a technických plastových materiálov pre komory, plynové systémy, manipuláciu s plátkami, RF a tepelné diely.
| Materiál | Bežné stupne | Typické polovodičové aplikácie | Kľúčové výhody |
|---|---|---|---|
| hliník | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Telesá komôr, základné dosky, ramená robotov, chladiče, držiaky | Ľahký, eloxovateľný, dobrá tepelná vodivosť; 6061-T6 je ťahúňom pre komorový hardvér |
| Nerezová oceľ | 304 l · 316 l · 316 l VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Vákuové príruby, plynové armatúry, časti ventilov,{0}}vysokopevný hardvér | odolnosť proti korózii a teplote; 316L VIM-VAR je štandardom pre službu nízkeho{2}}odplynenia UHV |
| titán | Stupeň 2 (CP) · Stupeň 5 (Ti-6Al-4V) | Diely distribúcie plynu, procesné súpravy, technické vybavenie na mokré spracovanie | Odolnosť voči plazme a chemikáliám, vysoká pevnosť-k-váhe, nemagnetické- |
| Meď | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 berýliová meď | RF diely, chladiace dosky, kontaktné pružiny, elektrický hardvér | Vynikajúca elektrická a tepelná vodivosť; OFHC ideálne pre RF a tepelný manažment |
| Zliatiny niklu | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Chemicky -odolné armatúry, vysokoteplotné{1}}časti, metrologické štruktúry | Chemická a teplotná odolnosť; Invar 36 ponúka takmer-nulovú tepelnú rozťažnosť |
Prečo 316L VIM-VAR?Pre komponenty s ultra{0}}vysokým{1}}vákuom (UHV) obrábame316L VIM-VAR- dvojitá-tavená nehrdzavejúca oceľ s veľmi nízkym obsahom plynu a inklúzií. Menej uvoľňuje plyny, zvára predvídateľnejšie a pri vákuovej prevádzke zostáva čistý. Ak váš výkres špecifikuje VIM-VAR alebo elektrolyticky leštený 316L, môžeme dodať materiál s úplnou certifikáciou.
Výber materiálu pre prostredie vákuových a čistých priestorov
Kompatibilita s vákuom a odplyňovanie
Materiály vo vnútri komory nesmú uvoľňovať plyny ani zachytávať častice. 316L VIM-VAR, 6061-T6 sú bežné možnosti; pórovitosť a povrchová úprava sú kontrolované, aby sa udržali nízke odplyňovanie.
Chemická a plazmová odolnosť
Halogénové a fluórované procesné plyny napádajú mnohé kovy. TZM molybdén, Ta-2,5W, Hastelloy C-276, titán triedy 5 sú vybrané pre korozívnu chémiu a plazmovú expozíciu.
Kontrola častíc a kontaminácie
Opotrebenie, hrany a zachytené nečistoty vytvárajú častice, ktoré zabíjajú výnos. Pred balením odhrotujeme každú hranu, kontrolujeme drsnosť povrchu a čistíme diely podľa noriem čistých priestorov.
Tepelný manažment
Teplo ovplyvňuje rovnomernosť procesu. C10100 OFHC meď a 6061-T6 sa používajú na chladenie platní a chladičov; TZM a volfrám zvládajú vysokoteplotné lúčové a komorové časti.
Magnetické a elektrické vlastnosti
Niektoré procesy vyžadujú ne-magnetické materiály, ako napríklad 316L, titán triedy 5; RF a uzemňovací hardvér používa OFHC meď C10100 a berýliovú meď C17200.
Presnosť a stabilita
Metrologické a litografické diely potrebujú rozmerovú stabilitu: hliník 6061-T6 a 7075-T6, titán 5. stupňa držia geometriu pri zmenách teploty.
Tolerancie a špecifikácie polovodičového CNC obrábania
Polovodičové súčiastky často vyžadujú mikrónovú-presnosť na úrovni tesniacich plôch, montážnych základov, kontaktných{1}}doštičiek a presných otvorov, takže nástroje sa zostavujú správne a procesy zostávajú opakovateľné.
| Špecifikácia | Typická schopnosť | Typické polovodičové aplikácie |
|---|---|---|
| Lineárne rozmery | ±0,01 mm (presnosť na ±0,005 mm) | Komorové diely, základové dosky, rozdeľovače |
| Priemer otvoru a hriadeľa | ±0,005–0,01 mm | Rotory čerpadiel, drieky ventilov, presné armatúry |
| Plochosť | Až 0,01 mm/100 mm | Tesniace plochy, chladiace dosky, kinematické uloženia |
| Sústrednosť / hádzanie | Až 0,01 mm | Rotujúce časti čerpadla, spojky |
| Skutočná pozícia | ±0,01 mm | Vzory otvorov-skrutiek, otvory na rozvod plynu |
| Drsnosť povrchu | Ra 0,2–0,8 μm štandard; Ra 0,1–0,4 μm na požiadanie | Tesniace plochy, kontaktné-plochy plátkov, interiéry komôr |
| Odstraňovanie hrán | Riadené podľa výkresu (k dispozícii je mikro-odhrotovač) | Všetky častice-kritické časti |
| Tolerancia závitu | Podľa požiadaviek ISO / ASME | Armatúry, príruby, montážny materiál |
Kritické funkcie, ktoré kontrolujeme
Tesnenie a O-krúžkové drážky- kontrolovaná hĺbka, šírka a povrchová úprava pre vákuové a kvapalinové tesnenia.
Oblátka-Kontaktné povrchy- kontrola rovinnosti a drsnosti, aby sa predišlo poškodeniu plátku a tvorbe častíc.
Presné otvory a lícovanie- presné otvory pre ložiská, hriadele a lisované-komponenty.
Otvory na rozvod plynu- presná veľkosť otvoru, poloha a odihlovanie pre rovnomerný prietok plynu.
Referenčné a montážne funkcie- konzistentné vzťažné body pre opakovateľné zostavenie a zarovnanie.
Povrchové úpravy pre polovodičové CNC diely
Povrchová úprava je súčasťou stratégie kontaminácie a korózie v polovodičových zariadeniach. Správna povrchová úprava kontroluje častice, uvoľňovanie plynov, chemickú odolnosť a elektrické správanie.
| Povrchová úprava | Použiteľné materiály | Typické polovodičové časti | Hlavný prínos |
|---|---|---|---|
| Elektroleštenie | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Vákuové príruby, plynové potrubia, vložky komôr | Odstraňuje povrchový materiál a inklúzie; znižuje uvoľňovanie plynov a zachytávanie častíc |
| Pasivácia | 316 l · 304 l · 17-4 PH | Kovania, spojovacie prvky, časti ventilov | Odstraňuje voľné železo, zlepšuje odolnosť proti korózii |
| Eloxovanie typu II | 6061-T6 · 6063-T5 | Telesá komôr, základové dosky, konzoly | Izolačná-vrstva odolná voči korózii; farebné možnosti |
| Tvrdé eloxovanie (Typ III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Opotrebiteľné plochy, vodidlá, časti robota | Tvrdá ochranná vrstva-odolná voči opotrebovaniu |
| Bezprúdové niklovanie | 6061-T6 · 7075-T6 · Oceľ | Hardvér komory, časti procesnej súpravy | Rovnomerná ochrana proti opotrebovaniu a korózii |
| Pozlátenie | C10100 · C11000 · 6061-T6 | RF kontakty, časti konektorov | Nízky kontaktný odpor, ochrana proti korózii |
| Pocínovanie | C10100 · C11000 | Elektrické vodiče, prípojnice | Spájkovateľnosť a ochrana proti korózii |
| Otryskávanie perličiek | 6061-T6 · 316L · Oceľ | Kryty, kryty, -nekritické povrchy | Jednotný matný povrch (kontrolovaný na uvoľňovanie častíc) |
| Upratovanie čistých priestorov | Všetky materiály | Všetky diely pred balením | Viac{0}}stupňové ultrazvukové čistenie, bez oleja, bez zvyškov, s kontrolou častíc- |
Kontrola kvality polovodičového CNC obrábania
Počas výroby kontrolujeme kritické rozmery, lícovanie, rovinnosť, hádzanie a povrchové požiadavky, aby sme zabezpečili, že CNC obrábané polovodičové diely zodpovedajú výkresu. Pre projekty, ktoré vyžadujú zdokumentovanú kvalitu, môžeme dodať materiálové certifikáty, správy o rozmeroch a dokumentáciu o čistote na podporu vašej vstupnej kontroly.
Overenie materiálu
Overenie materiálu
Rozmerová kontrola
Inšpekcia GD&T
Kontrola závitov
Kontrola povrchovej úpravy
Záverečná kontrola
Kontrola balenia
| Položka kontroly | Zariadenie / Metóda | Typické polovodičové časti |
|---|---|---|
| Rozmerová kontrola | CMM · Posuvné meradlá · Mikrometre | Celkové rozmery dielov |
| Priemer otvoru a hriadeľa | Mierka otvoru · Mierka kolíka · CMM | Rotory čerpadiel, drieky ventilov, armatúry |
| Plochosť a paralelnosť | Povrchová doska · CMM | Tesniace čelá, chladiace dosky |
| Skutočná pozícia | CMM | Vzory otvorov, dosky na rozvod plynu |
| Drsnosť povrchu | Tester drsnosti | Tesniace plochy, kontaktné plochy-doštičiek |
| Kontrola závitov | Go/No-Go Thread Gauge | Kovanie a spojovacie prvky |
| Overenie materiálu | Spektrometer + certifikát materiálu | Vstupná surovina (EN 10204 3.1 k dispozícii; certifikácia VIM-VAR na požiadanie) |
| Kontrola čistoty | Vizuálna + kontrola častíc na požiadanie | Diely dodávané do-čistej miestnosti |
| Záverečná kontrola | CMM + Inšpekčná správa | Konečné rozmerové prijatie |
Potrebujete zdokumentovanú kontrolu kvality?Pošlite nám svoje výkresy a požiadavky na kontrolu.
Prototyp a nízkoobjemové CNC obrábanie pre polovodiče-
Projekty polovodičov často začínajú prototypmi - návrhov nových nástrojov, vývojom procesných súprav, modernizáciou dielov alebo náhradných komponentov, ktoré musia byť pred výrobou overené. podporujemeprototyp a maloobjemové{0}}CNC obrábanieod počiatočných vzoriek až po opakované malé{0}}dávkové objednávky.
Prototypové obrábanie
Pre vývoj nových nástrojov, validáciu procesov a zmeny dizajnu.
Typické množstvo:1-10 ks
Nízko{0}}objemová produkcia
Pre pilotné systémy, inovácie nástrojov a počiatočné výrobné série.
Typické množstvo:10–1,000+ ks
Opakujte výrobu
Pre náhradné procesné súpravy a opakujúce sa objednávky so zavedeným dizajnom.
Typické množstvo:Na základe požiadaviek projektu
Vhodné pre
Vákuová komora a príslušenstvo na dodávku plynu
Komponenty na manipuláciu a upínanie plátkov
Časti leptania, depozície a implantácie iónov
RF, elektrické a tepelné riadiace časti
Metrologické a kontrolné prípravky
Náhradné diely a súpravy procesov pre existujúce nástroje
Balenie a dodacia lehota pre polovodičové CNC diely
Balenie
Individuálna ochrana:PE vrecia, pena, alebo ochranná fólia na opracované povrchy
Balenie do čistej miestnosti:Vyčistené diely sú dvojito{0}}balené do čistých vrecúšok (dostupná je možnosť čistenia dusíkom{1}}
Malé časti:Rozdelené kartóny, aby sa predišlo poškriabaniu a kontaktu medzi-{1}}dielmi
Presné diely:Penové vložky a oddelené priehradky pre kritické komponenty
Balenie na mieru:Čísla dielov, štítky, množstvá a požiadavky na balenie{0}}špecifické pre zákazníka
Typický dodací čas
| Typ objednávky | Typický dodací čas |
|---|---|
| Prototyp | 5-10 pracovných dní |
| Nízky-objem objednávky | 10-20 pracovných dní |
| Výrobná zákazka | 15-30 pracovných dní |
| Opakujte objednávku | 10-25 pracovných dní |
FAQ
Otázka: Aké polovodičové CNC obrábané diely môžete vyrobiť?
Odpoveď: Vyrábame vlastné komponenty vákuových komôr, príruby a armatúry plynového potrubia, plynové distribučné dosky, doštičkové svorky a krúžky, diely robotických ramien, komponenty čerpadiel a ventilov, diely lúčov pre iónové implantátory, RF komponenty, chladiace dosky, chladiče a časti procesných súprav pre polovodičové zariadenia.
Otázka: Aké tolerancie CNC obrábania môžete dosiahnuť?
Odpoveď: Naša štandardná tolerancia CNC je zvyčajne ±0,05 mm, s presnosťou obrábania do ±0,02 mm a vybranými kritickými vlastnosťami do ±0,005–0,01 mm, v závislosti od geometrie, materiálu a požiadaviek na výkres.
Otázka: Môžete dodať 316L VIM-VAR pre vákuové komponenty?
A: Áno. Pre ultra-vysokú{2}}vákuovú službu môžeme obrábať 316L VIM-VAR (vakuovo indukčne tavené a pretavené vo vákuu) s nízkym obsahom plynu, dodávané s materiálovou certifikáciou. Elektroleštenie je k dispozícii na zníženie uvoľňovania plynov a zachytávania častíc.
Otázka: Ponúkate čistenie a balenie-kompatibilné s čistými priestormi?
A: Áno. Časti je možné viacstupňovo čistiť ultrazvukom, sušiť a 2{2}}vkladať do čistých vrecúšok (voliteľné preplachovanie dusíkom), aby sa na povrchu neudržali častice-pri dodávke do čistých priestorov.
Otázka: Môžete dodať materiálové certifikáty a inšpekčné správy?
A: Áno. V závislosti od požiadaviek projektu vieme poskytnúť materiálové certifikáty (EN 10204 3.1, vrátane certifikácie VIM-VAR), správy o rozmerových kontrolách, správy CMM a záznamy o povrchovej úprave.
Otázka: Dokážete opracovať ne-magnetické komponenty?
A: Áno. Obrábame ne-magnetické triedy vrátane nehrdzavejúcej ocele 316L, titánu triedy 5, hliníka 6061-T6 a PEEK pre aplikácie, kde sa treba vyhnúť magnetizmu.
Otázka: Aké povrchové úpravy aplikujete na polovodičové časti?
Odpoveď: V závislosti od materiálu a aplikácie ponúkame elektrolytické leštenie, pasiváciu, tvrdú anodizáciu typu II a typu III, bezprúdové niklovanie, zlatenie a cínovanie, otryskávanie guľôčkami a čistenie čistých priestorov.
Otázka: Prijímate 2D výkresy a súbory CAD?
Odpoveď: Môžeme pracovať z bežných súborov STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF a 2D výkresov.
Otázka: Podporujete výrobu prototypov a malých{0}}objemov?
A: Áno. Podporujeme prototypové množstvá od 1 do 10 kusov, malo-sériovú výrobu od 10 do 1,000+ kusov, ako aj opakované výrobné zákazky na výrobné súpravy a náhradné diely.
Otázka: Aký je typický dodací čas pre polovodičové CNC diely?
Odpoveď: Typické dodacie lehoty sú 5 – 10 pracovných dní pre prototypy, 10 – 20 pracovných dní pre malé-objemové objednávky a 15 – 30 pracovných dní pre výrobné objednávky v závislosti od zložitosti dielu, množstva, materiálu a konečnej úpravy.
Populárne Tagy: polovodičové cnc obrábané diely, Čína polovodičové cnc obrábané diely výrobcovia, dodávatelia, továreň, titán
Dvojica
nieTiež sa vám môže páčiť
Zaslať požiadavku